测试流程
1.准备阶段
在进行开盖检测之前,确保实验室具备完善的安全设施,应配备通风橱、洗眼器等安全设备,操作人员需要穿戴好防护工具,如防护手套、护目镜等,准备好所需的化学试剂、激光设备或机械工具等检测设备和材料。金鉴实验室根据元器件的封装类型和材质,选择合适的开盖方法。在化学开盖过程中,需要严格控制化学试剂的用量、反应时间和温度等参数,以避免对芯片内部造成过度损伤。开盖完成后,使用显微镜对晶圆表面进行放大检查。通过显微镜观察,可以清晰地看到晶圆表面的原厂标识、版图布局、工艺缺陷等关键信息。在失效分析中,需要仔细找出具体的缺陷点位,分析缺陷产生的原因和影响,为芯片的改进和优化提供依据。检测报告应包含设备信息,如所用开盖设备与显微镜的具体型号。同时,报告中还应详细记录测试标准、样品信息与照片,以及开盖后的晶圆图像等关键内容。
服务费用
1.尺寸测量
是芯片逆向分析的基础环节之一,主要用于确定芯片的物理尺寸、芯片引脚尺寸、Flip Chip芯片的球径测量、裸片的Bump高度测量、封装类型等信息。(免费)

2.X-ray 和 3D-Xray
X-ray 和 3D-Xray 技术可以非破坏性地检测芯片内部的结构和缺陷。
服务费:X-ray 检测一般在数90元左右,3D-Xray 由于技术更为先进,费用通常在1000元以上。计算方式:主要考虑芯片的尺寸、拍摄角度和照片精度要求。大型芯片或需要高分辨率检测的情况,费用会更高。

3.Decap(芯片开盖)
Decap 是将芯片的封装打开,以便进行后续的分析。服务费:100元到500元不等。计算方式:取决于芯片的封装类型和难度以及晶粒的制造工艺。一些特殊的封装可能需要更复杂的开盖技术,费用也会相应增加。具有多颗晶粒集成封装的芯片难度更高。

4.OM拍照
去层拍照是一种更为复杂和精细的技术,价格相对较高。以一颗2X2的裸die芯片来讲,一般来说,去层的价格在每层1000元左右,高清拍照的价格在每层3000~8000元。
去层拍照的价格主要取决于芯片的复杂度、层数以及去层的难度。对于多层复杂芯片,去层拍照的价格会非常高。计价标准依赖于芯片的复杂度,所用的工艺以及分辨率的要求。
芯片复杂度和层数:芯片的复杂度越高,层数越多,去层拍照的难度就越大,价格也会相应提高。例如,高端处理器芯片通常具有多层复杂的电路结构,去层拍照的价格会比简单的逻辑芯片高很多。
不同的去层工艺会影响价格。一些先进的去层技术,如化学去层、机械去层等,可能会收取更高的费用。
拍照分辨率和数量:与 OM 拍照类似,去层拍照的分辨率要求和拍照数量也会影响价格。高分辨率的图像和大量的拍照需求会增加成本。

5.切片扫描
切片是将芯片进行横向切割,以便观察芯片内部的结构和电路。服务费:每切一刀价格在几百元左右。计算方式:主要考虑芯片的尺寸、切割的精度和难度。

6.电路反提和电路分析
这是芯片逆向分析的核心环节,通过对芯片的电路进行反推和分析,了解芯片的功能和设计。
服务费:电路反提一般在几万元左右,电路分析的费用也在数万元到十多万元不等。
计算方式:取决于芯片的复杂度、电路规模以及分析的深度和难度。复杂的高端芯片电路反提和分析费用会非常高。

项目案例


